處理溫度在200℃以下印刷制造CNT晶體管

NEC在“nano tech 2009 （國際納米科技綜合展）”（2月18日～20日）上，展示了通過印刷技術形成采用碳納米管（CNT）的晶體管全部構成要素的技術（參閱本站報道）。由于能夠在200℃以下的處理溫度狀態形成CNT晶體管，因此可將PEN（聚萘二甲酸乙二醇酯）薄膜等用于底板。

　　將這種薄膜用于底板的話，能制造出即輕又薄還可以彎曲的電子元件。另外，還可采用以卷成卷狀的數百米～數千米長的薄膜進行卷對卷方式的連續生產。有利于避開將多個制造裝置連接起來的做法，可省去搬運裝置和勞動時間，能大幅降低元件的制造成本。

　　此次的CNT晶體管形成工藝采用分配（Dispense）技術涂布和干燥包含有Ag、絕緣材料和CNT在內的油墨，分別形成Ag柵極、源極和漏極、柵極絕緣膜以及CNT通道。

　　使用的油墨方面，僅僅優化為單憑滴下裝置即可滴出的油墨還無法利用。需要分別將具有不同性質的金屬、絕緣材料和半導體材料按照需要進行層積才行。為此，油墨主要需要滿足三個條件。一是下層的油墨能夠均勻覆蓋，二是要具有不被上層層積的油墨侵蝕的抗蝕性，三是要確保良好的圖案形成特性。

　　此外，為將形成工藝控制在200℃以下，溶劑等材料的選擇受到限制。這就需要在這些限制下均勻分散Ag、絕緣材料和CNT，而且要使用在200℃以下揮發的溶劑來制造油墨。

　　今后，NEC將開發處理溫度降至150℃以下的形成工藝。如果能夠實現的話，將來可以使用PET（聚對苯二甲酸乙二醇酯）等更加便宜的薄膜。