微電子技術提高國產傳感器的市場占有率

　　當前微電子技術仍將依循“等縮比原理”和“摩爾定律”兩條基礎定律走下去，在逼近傳統硅技術極限中，不斷擴展硅的跨學科橫向應用(如MEMS等)和更先進應用(量子、分子器件)。而上述微電子技術的兩大發展方向正是當前乃至未來20年傳感器技術的主要發展方向。

　　幾十年來，微電子技術促進了傳感器技術的發展。因此，全行業必須樹立創新意識，大力加強新型傳感器的開發，提高產品的性價比，加快科研成果的轉化，加快新型傳感器的產業化，迅速提高國產傳感器的市場占有率。

　　目前，我國傳感器行業規模較小，應用范圍較窄。為此，我們亟須轉變觀念，將傳感器的研發由單一物性型傳感器的研發，轉化為高度集成的新型傳感器研發。新型傳感器的開發和應用已成為現代系統的核心和關鍵，它將成為21世紀信息產業新的經濟增長點。品種規格已有近6000種。

　　我國早在20世紀60年代就開始涉足傳感器制造業。我國在1972年組建成立中國第一批壓阻傳感器研制生產單位；1974年，研制成功中國第一個實用壓阻式壓力傳感器；1978年，誕生中國第一個固態壓阻加速度傳感器；1982年，國內最早開始硅微機械系統(MEMS)加工技術和SOI(絕緣體上硅)技術的研究。

　　進入20世紀90年代后，硅微機械加工技術的絕對壓力傳感器、微壓傳感器、呼吸機壓傳感器、多晶硅壓力傳感器、低成本TO-8封裝壓力傳感器等相繼問世并實現生產。

　　改革開放30年來，我國傳感器技術及其產業取得了長足進步，主要表現在：建立了傳感技術國家重點實驗室、微米/納米國家重點實驗室、國家傳感技術工程中心等研究開發基地；MEMS、MOEMS(微光機電系統)等研究項目列入了國家高新技術發展重點；在“九五”國家重點科技攻關項目中，傳感器技術研究取得了51個品種86個規格新產品的成績，初步建立了敏感元件與傳感器產業；2007年傳感器業總產量達到20.93億只，品種規格已有近6000種，并已在國民經濟各部門和國防建設中得到一定應用。

　　我國在20世紀80年代末就將傳感器列入國家高新技術發展的重點，經過“八五”、“九五”和“十五”的攻關和產業化建設，目前全國已有2000多家企事業單位從事傳感器的研制、生產和應用。由于經濟發展水平和生產研發資金的限制，我國傳感器行業總體技術水平還是相對比較落后的，規模和應用領域都較小。今天活躍在國際市場上的仍然是德國、日本、美國、俄國等老牌工業國家的企業。在這些國家里，傳感器的應用范圍很廣，許多廠家的生產都實現了規模化，有些企業的年生產能力達到幾千萬只甚至幾億只。相比之下，中國傳感器的應用范圍較窄，更多的應用仍然停留在工業測量與控制等基礎應用領域。

　　微電子推動傳感器發展

　　幾十年來，微電子技術促進了傳感器技術的發展。未來10年～20年，傳統硅技術將進入成熟期(預計在2014年～2017年)。從總體發展看，傳統硅技術市場將一直延續到2047年(即晶體管發明100周年)才趨于飽和(即達到芯片特征尺寸的極限)并衰退。而當前微電子技術仍將依循“等縮比原理”和“摩爾定律”兩條基礎定律走下去，在逼近傳統硅技術極限中，不斷擴展硅的跨學科橫向應用(如MEMS等)和更先進應用(量子、分子器件)。而上述微電子技術的兩大發展方向正是當前乃至未來20年傳感器技術的主要發展方向。

　　目前，傳感器行業呈現八大發展趨勢，即傳感器的產業化發展模式、傳感器產品全面、協調、持續發展、企業生產規模(年生產能力)向規模經濟發展、生產格局向專業化方向發展、傳感器大生產技術向自動化方向發展、企業的重點技術改造應向引進技術的消化吸收與自主創新的方向轉變、企業經營要加快從國內市場為主向國內與國外兩個市場相結合的國際化方向發展、企業將向“大、中、小并舉”、“集團化、專業化生產共存”的格局發展。

　　因此，全行業必須樹立創新意識，大力加強新型傳感器的開發，提高產品的性價比，加快科研成果的轉化，加快新型傳感器的產業化，迅速提高國產傳感器的市場占有率，縮小與發達國家的差距，同時，也要考慮走聯合之路，吸引國外先進的技術和工藝，壯大自己的科技實力。