關注半導體設備市場新變化

東精精密設備(上海)有限公司副總經理周雅萍:

兩大策略拓展中國市場
　　眾所周知，中國半導體市場近年來迅速發展壯大。Accretech(東京精密)公司的半導體業務也隨著中國半導體市場的成長不斷擴大。為了提供及時和規范的備件供應，滿足半導體客戶無待機時間的嚴格要求，東京精密在1994年成立辦事處的基礎上，2002年又在上海成立了現地法人公司--東精精密設備(上海)有限公司，同時，在上海外高橋設立了保稅庫。Accretech的現地服務隊伍也相應擴大，這些都已成為Accretech提供高效快捷服務的基礎。
　　中國半導體市場在高速發展，半導體設備的需求也在不斷變化。尤其是國際上知名的半導體生產廠陸續在中國內地建立生產基地，加速了中國半導體生產制作技術的提升。
　　中國客戶對半導體設備的需求也發生了變化。幾年前，客戶要求價格便宜工藝簡單的設備，通常客戶感興趣的設備為Accretech生產的低端產品。隨著中國客戶半導體生產工藝水平的提升，中國客戶對先進的生產設備需求不斷增加。在設備采購過程中，加工質量成為主要的考慮因素。另外，由于中國客戶在不斷提高生產工藝，Accretech開發的新產品也以其優良的性能價格比，在中國受到歡迎。比如Accretech新開發的硅片背面減薄機，可以將硅片減薄到50μm，用于對硅片厚度有特殊要求的封裝工藝，它可以集成硅片減薄的粗磨、精磨、拋光、去保護膜和貼劃片膜工藝，目前許多客戶對此類先進設備也非常感興趣，有些客戶已經在使用此設備進行生產。
　　由于中國內地市場對半導體設備的要求在變化，Accretech公司也針對半導體設備市場的需求，轉變公司的銷售策略。Accretech將繼續加大傳統半導體設備的銷售，進一步提高售前售后服務的質量。對探針臺來說，Accretech的探針臺已被中國客戶接受，占有比較大的市場份額，工作重點主要是提高產品的售后服務質量，保證快速的備件供應。對于劃片機來說，Accretech將針對中國客戶推出新的產品，并推廣高端的劃片機產品，如全自動劃片機及雙主軸劃片機。同時，Accretech也將加大新產品的推廣力度，主要是用于半導體前道工藝及硅片表面缺陷檢測設備WW50及CMP設備ChaMP。這些前道設備均為Accretech近幾年開發的新設備，吸收了原有設備廠商的經驗并融合了Accretech先進的精密加工技術及技術解決方案，可以滿足最先進的半導體加工要求。隨著中國內地芯片廠的增加，我們相信新設備的銷售將是Accretech在中國半導體業務的新增長點。
　　從全球半導體市場看，2005年半導體市場將又一次進入調整階段，但相對上次的低谷時期對設備廠商的影響要小。我們預測到2006年3月市場會有所回升。今年Accretech將繼續擴大工廠生產規模，繼續革新生產工藝，降低制造成本，迎接快速回升的繁榮市場。當然全球半導體市場不景氣對中國的市場也會有影響，但通過全體員工的努力，我們相信今年的中國市場將保持穩定。
Accretech的產品品牌由原來的TSK變為現在的ACCRETECH，東京精密將繼續在中國加大市場推廣工作。我們將參加在上海舉辦的Semicon China及在北京舉辦的IC China展覽會。相信中國客戶將更加了解東京精密，了解ACCRETECH不僅是優秀的探針臺及劃片機生產商，而且可以提供先進的前道加工設備。
Novellus Systems公司亞太區運營高級副總裁Chen Fusen:
強化設備生產能力服務客戶
　　很明顯，由于中國的半導體市場日漸成熟，這個地區將在全球半導體工業的增長中扮演越來越重要的角色。市場分析家預測，2004年中國整個電子工業的收入已增加到1800億美元以上(Dataquest)。同時，根據Dataquest預測，與全球6.7%的復合年度增長率(CAGR)相比，中國電子工業從2003年到2008年將增長12.9%，2005年數字、蜂窩和基于DSL的產品預計將超過360億美元，這代表著最大的市場部分。
　　通信和消費電子產品、移動電話、家用電器、電視機、DVD播放機的增長和其他新一代應用，繼續推動著中國對領先的芯片的需求。為了滿足這種需求，中國的半導體生產日漸增長，反過來，這也刺激了具有成本效益和生產效率的用于生產新型IC的半導體制造裝備的需求。芯片制造商繼續面臨著巨大的制造挑戰，因為他們要跟上日益增長的市場需求，滿足那些低功耗和靈活性的更小和更快的產品應用要求，又因為高檔消費產品需要更多特殊的材料，諸如銅金屬化和低k介電質等，制造過程中也就需要更先進的設備。器件的縮小、新材料的應用和晶圓基片尺寸的增加，共同引發了一場對高成本帶來巨大沖擊的技術創新的"完美風暴"。諸如銅金屬化、低k介電質、高k柵氧化層、絕緣體上硅(SOI)和應力硅晶格等技術，都需要工程設計資源和資金方面的巨大投入，以確保制造工藝的無縫整合。
　　為了迎接這些制造方面的挑戰，設備制造商需要擴展其現有設備的生產能力和設備的使用壽命。平臺可延伸性可以滿足技術和生產力兩方面的需求。假如沒有出眾的技術，要在一兩個制造節點的平臺可延伸性方面領先，通常是不可能的。在美國和歐洲那些成熟的市場，的確是這樣，在中國這樣的新出現的市場也不會例外。
　　在像中國一樣的對成本敏感的市場，制造商面對的挑戰在技術和生產能力方面提出了一個新的問題。為了節省成本而投資于過時的或質量低劣的設備，不僅影響下游產品的質量，還要求制造商根據每一種器件尺寸的縮小而在新工具方面進行投資。要使設備的使用壽命可以覆蓋多個工藝發展階段的更有效的方法，就是投資于具有可擴展性和靈活性的優質高科技設備。
　　為了幫助用戶克服制造面臨的挑戰，Novellus的整個產品線均具有平臺可延伸性。例如，電化學沉積技術最初是用于0.25μm的，現在無需重新設計已經擴展到了45nm的SABRE Electrofill平臺。在2004年12月，Novellus把第一臺SABRE300mm銅電鍍設備裝運到一家領先的中國代工廠。
　　同樣，INOVA物理蒸發沉積(PVD)系統也是這樣，它最初是在180nm的微米級應用的，現在已經延伸到了45nm平臺。在化學汽相沉積(CVD)方面，諸如鎢溝填脈沖晶核形成層技術的創新，使Novellus能夠利用ALTUS系統，在極端困難的45nm結構條件下，進行無氣泡填充，而不犧牲CVD方法固有的生產效率。類似的創新也被用于鋁質蝕刻制造工藝中先進的電介質填充，以保持高量產的CVD沉積率。Novellus的VECTOR系統是專門為在同一個反應堆中沉積先進的低k介電質膜優化的，該反應堆過去經常用來沉積比較普通的硅氮化物等的薄膜。此外，用于250nm工藝的同樣的平臺也能用于45nm工藝。
　　從長遠來說，技術和可靠性的焦點在于，既要有低成本的系統服務，也要減少先進器件的制造成本。隨著最前沿技術的應用，可以使制造商能夠生產更具有附加價值的個性化的產品，以便在市場上獲得額外的回報。這既迅速滿足了日益成長的中國需求，中國的半導體工業也很有可能克服影響全球工業的一些相同的難題。為了支撐長期的增長和擴張，除在成本方面進行競爭外，中國的半導體工業需要提升到更優質的檔次。
愛德萬測試(蘇州)有限公司ATE事業部總經理森屋裕一:
維護和服務是第一目標
　　伴隨著業界景氣的恢復，2004年也成為外商對華投資再開始的契機。中國半導體產業伴隨著中國半導體市場的快速成長，在政府欲增加國產化比例的政策下，全球性的IDM企業增產，Foundry的規模擴張，Assembly&Test工廠的新計劃等被實施，在世界半導體量產工廠的行列里，中國正扎實地繼續構筑著自己的地位。
　　受此影響，2004年愛德萬測試的半導體測試設備，在中國的新裝機和移機數達到了近300臺，目前在綜合安裝臺數上，取得了中國第一的成績。特別是2004年由于相當多的設備從海外移到中國內地，對二手設備的服務內容也亟須充實。2004年愛德萬測試面對大量的被引入到中國的設備，以系統的維護、增強售后服務為第一目標，招募了大批軟硬件工程師，增加了維修零件的庫存，增設了提供支持服務的網點。目前愛德萬測試在中國的服務體系和質量與其他海外分公司相比毫不遜色，這是提供中國第一的支持服務的強大基礎。
　　另一方面，純粹的中國內地的IC設計市場也從2003年度的46億元的規模，發展到2004年翻了一番的程度。在此之前低端芯片是主流，但2004年從中端到高端的芯片也得到推廣，一部分正在實現量產化。針對中國的IC設計公司，2004年愛德萬測試，在各地半導體協會的幫助下，特別是通過召開以SOC測試技術為主的研討會，在測試程序的作成、設計評價、量產芯片評價等方面，為IC設計公司提供支持，為中國半導體產業的發展作出了努力。
　　2005年，縱觀世界半導體產業，前半期會繼續上一年度后半期以來的低迷情況，在中國也會受到設備投資削減的影響，但與其他地方相比，預計仍然會繼續增長。IDM各廠商的新工廠開工和計劃落實，新Foundry工程的計劃和Assembly&Test工廠的運作，增產、新項目開發等舉措在中國各地都會陸續得到推進。愛德萬測試將進一步提高工程師的水平，增加程序開發力量，在更多的城市建立起新的支持網點，構筑更強大穩固的支持，組織方面投入更大的力量。同時，我們還將在半導體設備所使用的軟件、應用程序的開發方面，研究如何有效利用中國的資源，加強與企業的業務合作關系。
　　另一方面，中國設計市場，如數字電視以及對應于3G的通信設備等中端芯片正在逐漸開始實現量產化。而在此之前，中國內地設計的半導體芯片，使用0.36μm以上工藝技術的低端產品占了大部分，像MCU那樣在量產上無需依靠專用半導體設備進行出廠檢查的芯片比比皆是。但是最近，在中端以上的芯片設計領域，且不說設計評價，就是在量產上，測試的重要性也得到了大家的認同。
　　這次Semicon China，愛德萬測試將以"為量產作貢獻"為主題，介紹在業界50年間在全球量產上作出的成績以及在中國設立上海公司以來的10年間為中國半導體產業作出貢獻的歷史，展示在全球范圍內裝機數超過600臺的SOC量產機種T6575(HL系列)并進行操作演示。而且，2005年，愛德萬測試也計劃在中國市場開始銷售充實了模擬功能的低成本測試設備T7722。