叫板國外壟斷技術我化學機械拋光設備問世
| 中國電子科技集團公司第48所近日成功研制出國內首臺具有自主知識產權的、適用于0.25μm器件特征尺寸、6英寸～8英寸晶圓片平坦化工藝要求的化學機械拋光設備。 該項目的研制成功，填補了我國IC設備制造業(yè)0.25μm/6英寸～8英寸晶圓片平坦化設備的空白，對于實現(xiàn)我國微電子產業(yè)的跨越式發(fā)展，形成我國自主的知識產權，提升我國集成電路的整體研發(fā)水平和產業(yè)核心競爭力及打破國外微電子尖端技術壟斷有著十分重大的現(xiàn)實意義。 |